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电子元器件辐照加工优势与示意图

电子束辐照相对于金属渗透工艺的优势:

  简化生产设备;

  适用各种尺寸的晶园辐照芯片辐照

  
精确和可重复性生产;

  
退火可稳定的完全恢复;

  
室温操作;

  
无重金属污染;

  
根据生产工艺,能在不同工序中完成。

 电子元器件辐照加工示意图

电子束辐照处理的电源管理器件:

  快复二极管                               Fast recovery Diodes (Diodes);

  晶闸管                                      Thyristors/Gate Turn-Off Thyristors(GTO);

  电力整流器                               Power Rectifier;

  双极结晶体管                           Bipolar Junction Transistors(BJT);

  可控硅,硅可控整流器            Silicon Controlled Rectifiers(SCR) ;

  IGBT                                         Insulated Gate Bipolar Transistors(IGBT) ;

  MOSFET                                  Power MOSFET(their body diodes).

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